Высокая плотность хранения, высокая эффективность использования пространства, полное использование пространства по высоте
Автоматизированное тестирование на уровне учебных материалов
Быстрая реализация
Высокое использование пространства
Инженерное дело на заводе полупроводников
Введение в приложение
Автоматизированное хранение и управление материалами на производстве полупроводников
Относится к :
1.Хранение высокой плотности, высокая загрузка пространства, полное использование высоты.
2.Быстрый ритм
3. Интегрирован в систему управления материалами цеха.
4. Быстрая реализация, автоматический тест на уровень преподавания.
5.Совместимость с ARV/OHT/OHS/ручными и другими автоматическими процессами.
6. Соответствует стандартам ISO14644-14 для чистых помещений, стандарту SEMI S2 и стандартам ESD.
Введение функции
*Он используется для онлайн-хранения полупроводников, поддержки FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray и других.
*Может стыковаться с АРВ, поддерживать ручную загрузку и разгрузку.
*Соответствует стандартам ISO14644-14 для чистых помещений, стандарту SEMI S2 и стандартам ESD.
*Стандартный программный интерфейс SEMI
*Модульная конструкция
Блок4. No.358 Jinhu Road, район Пудун, Шанхай, Китай
EN 
CN
ES
RU
JA
KO
DE
FR
IT
AR
TL
CS
NL
FI
EL
HI
PL
PT
IW
ID
VI
HU
TH
TR
FA
MS
